臺灣大學與Hitachi High-Tech合設聚焦離子束先進應用創新中心共同開創前瞻材料與元件分析技術

臺灣大學與Hitachi High-Tech共同於臺大設立NTU-Hitachi 聚焦離子束先進應用創新中心 (Advanced Application Innovation Center for Focused Ion Beam System) 。此中心主要目標在於發展前瞻綠色材料與次世代半導體之材料分析技術與物質科學,由Hitachi High-Tech提供NX5200 聚焦離子束-掃描式電子束 (FIB-SEM) 系統供臺大教研人員廣泛使用,並對我國產學研展示技術與教育。Hitachi High-Tech將建立設備維護管理、應用支援等支持體系,以支持中心的順利運作。此外,未來亦將逐步擴充雙方合作的電子顯微鏡與材料分析設備。

聚焦離子束先進應用創新中心為臺大工學院材料科學與工程學系與前瞻綠色材料高值化研究中心設立的系級中心,由材料系教授顏鴻威擔任合設實驗室負責人並執行本合作案。Hitachi High-Tech提供之NX5200 FIB-SEM System為其頂級聚焦離子束設備,不僅配備有鎵離子束與電子束,同時配置有氬離子減薄系統,屬於三槍型離子束系統,為我國學術領域最優異之設備。此外,Hitachi High-Tech每個月皆由日本指派專任技術人員進駐交流與教育訓練,雙方將在前瞻電子顯微鏡分析、高階電子顯微鏡試片製備、原子針尖試片製備、半導體關鍵技術突破…等議題共同展開合作。

臺大通過與Hitachi High-Tech共同營運該中心,雙方將強化產學合作、提升技術創新力、提供科學技術領域未來人才培育的平台,進而為臺日雙邊的科學技術發展和經濟繁榮盡一份力。

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