推動我國微/奈米機電領域開創性研究奈米機電系統研究中心正式成立

教育部於2002年9月9日正式核定本校工學院與電機資訊學院合設「奈米機電系統研究中心」，將隸屬於本校「奈米科技研究中心」之下。奈米機電系統（NEMS）研究中心成立宗旨在於「培育奈米機電系統人才與建立基礎技術以促進我國產業之發展」。研究中心同時執行人才培育、技術研發與整合、及促進產業發展等工作，由中心協調跨系所研究人才與設備之整合，以爭取大型研究計畫之執行。除培育微機電系統實作人才外，配合工學院及電機資訊學院院長指示下，規劃本校「奈米工程學程」，於2002年2月開始實施，至2002年9月，已有來自本校6學院25系所，共245位學生進入學程。

本中心於87年6月由國科會資助設立國科會北區微機電系統研究中心。無塵室位於本校應用力學研究所，實驗室規劃區分為：行政室、黃光室、分析室、蝕刻室、爐管室、與機電室等。並於台大機械學系設置系統設計室，預計未來將在機械學系、電機學院與工程科學與海洋工程學系內，增加約250坪。為建立開放實驗室制度，確保各系所師生及產業界有效利用本中心實驗室，中心營運管理強調安全、環保、品質、服務、及研究五大要件。中心之資訊網站網址為http://nscmems.iam.ntu.edu.tw。

四年半來，已建立微機電系統(MEMS)由設計、鍍膜、微影、蝕刻、封裝至檢測之完整設備，總設備投資額逾新台幣一億四千萬元，主要設備含有MEMCAD、RIE、ICP、sputter、PECVD、LPCVD、與double side aligner等，基於有效的電腦網路化管理及24小時開放制度，每年平均開授200班，1000人次的小班制實作訓練課程，目前已有超過650名的學員，來自全國35所大專院校，及25所產業界公司，其中約45%為本校學生，已有超過700人取得一般使用資格，逾2000人次取得儀器操作資格，設備使用量平均每日逾60小時人次，設備使用年收入約新台幣陸百萬元，每年支援的研究計畫逾60件。

未來發展目標，除持續加強人才培育，學術界與產業界之間的橋樑，建立微/奈米機電系統製程核心技術，重心將推動具前瞻性與開創性之研究，以期許我國之微/奈米機電領域能在國際上佔有一席之地。